据珠海市工业和信息化局官网消息，为推动珠海电子化学品产业高质量发展，电子化学品产业园高标准建设，市工业和信息化局结合我市实际，研究起草了《珠海市电子化学品产业发展三年行动方案（2025-2027年）（以下简称“《行动方案意见稿》”）。
《行动方案意见稿》中提到：重点发展8英寸、12英寸硅片，碳化硅、氮化镓、磷化铟等新一代化合物半导体衬底材料及外延片；前瞻布局氧化镓、锑化镓、锑化铟等第四代半导体材料；依托现有化学机械抛光（CMP）浆料及抛光垫重点企业，重点发展氧化铝、氧化铈、氧化硅、氧化钨、氮化硅、氮化铝等高纯研磨颗粒，硝酸铈、硝酸铝、硝酸镍等高纯抛光剂以及软质（聚氨酯垫、细毛毡垫、绒毛布垫）和硬质（纤维织物垫、聚乙烯垫）抛光垫等；重点发展匀胶铬版光掩模版，KrF、ArF移项光掩模版，前瞻布局深紫外光（DUV）掩膜版；重点围绕现有龙头企业，积极布局电子束胶、深紫外线（DUV）光刻胶、极紫外线（EUV）光刻胶等高端领域产品，聚焦目前国产化率较低、市场需求较大的高端KrF、ArF深紫外线（DUV）光刻胶，逐步向上游树脂单体原材料、光引发剂、高纯溶剂、助剂等配套化学品领域延伸，力争打造全国规模最大、技术最先进的光刻胶产业集群；围绕电子级环氧树脂、感光干膜、阻焊油墨、蚀刻液、显影剂等现有系列产品锻造产业长板，支持PCB产业纵向一体化发展，重点发展钢性/柔性覆铜板用铜箔及柔性覆铜板；瞄准未来产业发展方向，前瞻谋划布局钠离子电池、全固态电池、氢燃料电池、全钒液流电池、锌铁液流电池、新型储能等相应的关键材料项目，打造一批产业化示范项目，培育一批“链主”型龙头企业，力争用3年时间形成华南地区最具竞争优势的动力电池及储能电池产业生态体系等等。