1月8日，据晶驰机电官微消息，晶驰机电开发的8英寸碳化硅（SiC）电阻式长晶炉近日通过客户验证，并正式开启了小批量交付。
据悉，晶驰针对当前市场需求精心打造的先进半导体材料制备新装备，采用独特的结构设计，结合最先进的过程控制理论和自动化控制方法，实现了长晶过程中工艺参数的精准控制和设备运行的高度智能化。通过创新的热场设计，实现均匀的径向温度和宽范围精准可调的轴向温度梯度。热场稳定性高，使用寿命长，大幅提升了晶体的质量和良品率。
据了解，与传统的感应式碳化硅单晶设备相比，电阻法SiC长晶炉简化了工艺设计流程，热场稳定性高，热场使用寿命长，多炉次生长单晶的一致性好，特别适合大尺寸碳化硅单晶生长。这一系列特点使得电阻法设备尤其适合希望快速进入SiC单晶生长领域但又缺乏深厚经验基础的企业。