12月9日上午,浙江丽水中欣晶圆半导体材料有限公司成功举行12吋完美单晶的下线仪式,标志着中欣晶圆在半导体材料领域取得了重大突破。
据了解,浙江丽水中欣晶圆半导体材料有限公司成立于2022年,是杭州中欣晶圆半导体股份有限公司(以下简称“中欣晶圆”)的子公司。该公司总占地面积224亩,建筑面积25万平方米,总投资58亿元。自去年6月桩基动工以来,仅用时六个半月就完成了25万平方米的建筑封顶,并于今年10月开始主要工艺设备的搬入和调试,如今单晶炉首棒已经顺利产出并成功下线。项目建成达产后,可形成年产360万片12英寸抛光片的生产能力。
中欣晶圆成立于2017年,一直专注于高品质集成电路用半导体晶圆片的研发与生产制造。目前中欣晶圆具备年产240万片12英寸、480万片8英寸、480万片4-6英寸抛光片产能。为了进一步扩大业务范围和提升技术水平,中欣晶圆于2021年成立浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司,主要从事8-12英寸外延片的研发与生产制造;并于2022年成立浙江丽水中欣晶圆半导体材料有限公司,主要从事12英寸抛光片的研发与生产制造。
此次完美单晶的成功下线,不仅展示了中欣晶圆在技术研发和生产制造方面的实力,更标志着公司已熟练掌握并能异地复制具有自主知识产权的完美单晶拉制工艺。中欣晶圆常务副总经理张友海表示,公司将抓住发展机遇,为半导体产业贡献更多优质的硅片产品。