近日，杭州富加镓业科技有限公司自主研发的氧化镓 EFG 法设备完成现场验收并顺利下线。这款具备 “一键长晶” 功能的设备实现晶体生长智能化控制，标志着氧化镓单晶制备技术取得重大突破，为高性能半导体材料的规模化生产奠定坚实基础。
氧化镓（Ga?O?）作为极具潜力的功率器件核心材料，长期受高温挥发分解、各向异性及热场不对称等难题制约，产业化进程缓慢。富加镓业坚持工艺与装备 “双轮驱动” 战略，通过优化 EFG 法生长工艺核心环节，将晶体生长习性相关技术深度嵌入设备，并融合机器学习技术，成功实现氧化镓单晶生长的 “无人驾驶” 模式。该技术有效降低对人工经验的依赖，显著提升晶体生产效率与质量，于 2024 年 12 月通过行业专家评估认证（富加镓业“一键长晶”技术通过专家评估，全自动晶体生长装备助力氧化镓产业腾飞）。此次客户现场验收的顺利通过，不仅验证了设备技术的可靠性，更标志着 “一键长晶” 技术获得市场认可。富加镓业将以设备正式下线为新起点，持续推进工艺与装备协同创新，加速氧化镓材料产业化步伐，助力我国在高性能半导体领域实现新跨越。
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