近日，杭州富加镓业科技有限公司（以下简称：富加镓业）在氧化镓MOCVD同质外延薄膜研发方面取得重要技术突破，在富加镓业的氧化镓单晶衬底上同质外延出厚度超过10微米的薄膜，经国家权威检测机构验证，该技术已达到国际领先水平，相关标准化产品将于2025年4月上市，为新能源汽车高压平台、智能电网柔性输电装置等高端装备提供关键材料支撑。
第三方检测机构——中国计量科学研究院的测试结果表明，MOCVD外延薄膜的背景载流子浓度控制低至3.6E15cm-3，迁移率达到172.7cm2/V·s。基于MOCVD技术的高质量氧化镓同质外延薄膜的研制成功，未来将助力3300V以上垂直型高压功率电子器件产业快速落地。